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MEMS压力传感器在汽车中的应用
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图4：DPF尾气压差传感器结构示意图
以柴油机系统为例，图4是典型的DPF尾气压差传感器的结构示意图。该差传感器总成结构上带有两个气管，分别安装软管连接到DPF捕捉器的前后两侧，通过内部结构实现两端压力差分别反应到MEMS敏感膜片的两侧。
当DPF堵塞时其前后端压力差会非常明显，DPF压差传感器的典型量程为100kPa，通常为比例输出的模拟电压信号，该传感器的应用环境条件较为恶劣，设计时需考虑到尾气中的高温及腐蚀性成分对传感器的影响。
纳芯微NSPAS1与NSPAS3系列集成式压力传感器采用SOP8封装，集成MEMS与ASIC，并在出厂前预校准，输出曲线可灵活配置，能够满足多种应用中对压力传感器的灵活需求。针对恶劣介质，纳芯微可提供绝压Pt铂金MEMS晶圆NSP163X，NSP163X具有极高的可靠性与介质耐受能力，是应用于恶劣介质环境的理想选择。
纳芯微NSPGM系列集成表压传感器方案可以灵活应用于燃油蒸汽压力表压测量及DPF和GPF尾气压差测量等领域，并能够搭配差压Pt铂金MEMS晶圆NSP183X满足尾气和油气腐蚀性环境的特殊要求。
除上述燃油汽车传感器应用外，纳芯微MEMS压力传感器也可应用在HEV混动汽车和BEV纯电动汽车，如带有启停功能和混动汽车中的刹车助力系统会使用MEMS压力传感器检测真空度，新能源汽车中可以使用MEMS压力传感器检测电池包压力，用于热失控报警。
综上所述，纳芯微电子可以提供适合于上述多种应用的全方位解决方案，包括MEMS敏感元件、ASIC信号调理芯片以及补偿校准好的集成式传感器芯片或定制模组形式。并能够提供耐受恶劣介质腐蚀的贵金属MEMS及SENT、LIN等多种接口ASIC和针对应用优化的灵活的解决方案，满足汽车严苛及高可靠性的应用要求。